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影響三坐標測量儀精度的因素，除了三坐標測量儀本身因測量精度誤差而產生的誤差外，還有許多因素可能影響三坐標機測量的精度，導致三坐標測量儀誤差。三坐標測量儀操作員應了解這些因素，以避免影響零件測量的準確性。
溫度是影響三坐標測量儀精度的最大因素。三坐標測量儀每年進行一次精度校正，不能保證溫度變化時三坐標測量儀的精度。特別是當季節變化時，機房的溫度與校準時的溫度有所不同。機房要保持溫度穩定。
在這種情況下，采用溫度修正系數來修正三維光柵溫度與量塊溫度之差引起的誤差。這種修改可以基于季節或環境溫度條件。
三坐標測量儀補償文件是利用雙頻激光干涉儀檢測測量儀的位置、直線度和角度誤差而生成的補償文件。測量軟件根據它來補償誤差。一些操作人員在安裝三坐標測量儀軟件時經常忘記安裝補償文件或丟失備份文件。
協調測量儀精度差，重新檢查機器精度。因此，操作員應注意備份文件，并知道如何安裝補償文件。
三坐標測量儀探頭校正的目的是對測量桿（測量頭）紅寶石球直徑進行校正，對測量點探頭進行校正，得到不同探頭位置的位置關系。探頭校正產生的所有誤差都將添加到測量中。所以在這個環節上要保證正確和準確。注意以下事項：
（1）保持三坐標標準球和測量桿清潔。
（2）確保三坐標測量座、測量頭、測量桿、標準球固定牢固。
（3）輸入正確的測量桿長度和標準球直徑。
（4）根據形狀誤差和修正后的寶石球直徑及重復性判斷修正精度（修正后的寶石球直徑隨加長桿長度的不同而不同）。
（5）當使用不同的探頭位置時，應在所有探頭位置校正后，通過測量標準球中心點的坐標來檢查校準精度。
在不移動探頭和測量桿的前提下，可以調出探頭驗證后保存的探頭文件供使用。但是，在測量精度較高的情況下，建議重新校準探頭。
三坐標測量儀在使用后較長時間內，特別是在環境較差、溫度波動較大、機械部分會發生變化，如：垂直度變化、具有長腿端的梁式測量儀長度測量精度差等。此時對測量儀進行大修和精度檢查。
因為測量儀的原理是先取點，然后用軟件取點進行擬合和計算誤差。因此，該測量儀對零件的形狀誤差有一定的要求。當被測部位有明顯的毛刺或沙眼時，測量重復性明顯變差，操作者無法給出準確的測量結果。在這種情況下，一方面需要控制被測零件的形狀誤差；另一方面，可以適當增大測量桿的寶石球直徑，但測量誤差明顯較大。
三坐標機測量精度
采用正確的三坐標機測量方法，選擇正確的測量基準是最重要的步驟之一。如：圓和直線選擇投影面或工作面，建立部分坐標系選擇正確的第一、二基準，同軸度計算如何選擇基準軸等。這就需要掌握測量儀的測量原理，并根據實際情況采取正確的方法步驟。
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